1、光源
 

　　光源是 塵埃粒子計數(shù)器 的關(guān)鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長、不受干擾。
 

　　光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開機后需要預熱。激光光源為激光器，體積小、穩(wěn)定性高、壽命長，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。常見的激光光源有HeNe激光器、激光二極管。
 

　　2、測量腔
 

　　測量腔是進行微粒觀測的空間，被采集的空氣要從測量腔內(nèi)穿過。儀器的光學系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測量腔中，形成一個體積約幾個立方毫米的光敏感區(qū)。當空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時，會散射出一部分光能量，被與人射光成一角度(900或700)的集光透鏡收集，再投射到光檢測器上。
 

　　3、光檢測器
 

　　光檢測器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號的光電轉(zhuǎn)換器件。 塵埃粒子計數(shù)器 中較常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。
 

　　光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個毫伏到幾十毫伏的電信號，光譜具有線性好、響應時間快、暗電流小的優(yōu)點，缺點是體積大。光電倍增管工作時需加上幾百伏特的負高壓，儀器中有相應的高壓產(chǎn)生電路，在對儀器進行調(diào)試或校準時應注意安全。
 

　　光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導體元件，具有體積小、外圍電路簡單的特點，常與檢測腔做成一體。
 

　　4、流里監(jiān)控
 

　　目前國產(chǎn)塵埃粒子計數(shù)器常采用轉(zhuǎn)子流量計作流量指示，儀器的流量調(diào)節(jié)大多數(shù)是直接調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)子流量計上的旋鈕，此時儀器的控制電路對流量是沒有監(jiān)控的。進口塵埃粒子計數(shù)器通過流量傳感器對流量進行監(jiān)測，通過手動調(diào)節(jié)或自動反饋調(diào)節(jié)。
 

　　5、氣泵及過濾器
 

　　氣泵位于儀器內(nèi)部，使儀器產(chǎn)生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動小、產(chǎn)生的氣流穩(wěn)定。過濾器應能過濾掉0.3ftm以上的微粒，以免從儀器排出的空氣對潔凈區(qū)產(chǎn)生影響。
 

　　6、電路系統(tǒng)
 

　　不同粒徑大小的粒子經(jīng)塵埃粒子計數(shù)器的光電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換后，會產(chǎn)生不同幅度(電壓)的電脈沖信號，粒徑越大，脈沖電壓越高。信號電壓與粒徑之間的關(guān)系，也叫轉(zhuǎn)換靈敏度。對于給定的塵埃粒子計數(shù)器，粒徑大小與脈沖電壓是一一對應的。